Sensor News Japan

たぶん日本初! センサ情報専門ニュースサイト

スポンサーサイト

スポンサー広告 ] --/--/--(--)

上記の広告は1ヶ月以上更新のないブログに表示されています。
新しい記事を書く事で広告が消せます。

Sensor News Japan

--:-- | トラックバック(*) | コメント(*) | 先頭 | TOP

MEMS技術による湿度センサー,米社が製品化

新製品 ] 2005/07/06(水)

MEMS技術による湿度センサー,米社が製品化


湿度センサー・メーカーである米Hygrometrix, Inc.は,MEMS技術を使った湿度センサーを実用化した。75米ドル以下の価格でサンプル出荷中である。


センサー・チップは,2mm角といった寸法の正方形のSiチップの中央に穴を開けて,4個のカンチレバーを構成している。各カンチレバーは,正方形の外周側が固定部,中心側が可動部となる構造にしてある。このカンチレバーには,ピエゾ抵抗を集積し,その上にポリマー・フィルムを重ねている。ポリマー・フィルムの湿気による収縮がカンチレバーを歪ませ,その歪みをピエゾ抵抗が読み取る。四つのピエゾ抵抗をブリッジ状に構成することによって,高い検出感度で電圧として出力する。



ちょっと長目に引用。
実験室レベルでは当たり前の技術かもしれないが、実用化にまでこぎ着けた開発者陣は敬服に値する。
スポンサーサイト

Sensor News Japan

07:37 | トラックバック(*) | コメント(*) | 先頭 | TOP



| このページの先頭へ |

サイト内検索

カレンダー

09 | 2017/10 | 11
S M T W T F S
1 2 3 4 5 6 7
8 9 10 11 12 13 14
15 16 17 18 19 20 21
22 23 24 25 26 27 28
29 30 31 - - - -

自己紹介

名前 : ヒデト(山下秀人)
ウェアラブル"幸せ"センサ開発を目指す技術者
専門はMEMSプロセス屋

センサ情報は下記メールアドレスまで
sensornews@yamashita.bz
お待ちしております
RSSフィード : RSS
テクノラティプロフィール

上記広告は1ヶ月以上更新のないブログに表示されています。新しい記事を書くことで広告を消せます。