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【続報】「おそらく最先端の圧力センサ」,オムロン ヘルスケアの血圧脈波検査装置に搭載

開発 ] 2005/09/08(木)

【続報】「おそらく最先端の圧力センサ」,オムロン ヘルスケアの血圧脈波検査装置に搭載

「脳梗塞」「心筋梗塞」など循環器系疾患の進行具合を把握する指標「AI値」の計測に向け,オムロン ヘルスケアの血圧脈波検査装置「HEM-9000AI」を発売した(発表資料Tech-On!関連記事)。手首に巻き付けるセンサ・ユニットで簡単に脈の動きを計測するために,同社は従来と同等の感度ながら素子の大きさを1/25まで小型化した圧力センサを開発し,センサ・ユニットに搭載した。


オムロン脈波装置の続報。圧力センサについて詳しく書かれている。
僕はプロセス屋なので、記事中の以下の文章が気になった。

0.2mm角と狭めた寸法の中で感度1/100mmHgを実現するため,Siダイヤフラムを「従来よりもかなり薄くした」(オムロンヘルスケア)。ダイヤフラムをたわみやすくしたというわけである。Siダイヤフラムは,Si基板を表面方向から裏面方向に向かってエッチングして形成する。Si基板を垂直方向に掘り込み,裏面に薄く残したSi部分をダイヤフラムとして使う。今回はこの残った部分の厚さが従来よりも薄い。同社はあらかじめ薄いSi基板を使ったり,エッチング量を正確に管理したりすることで,薄いSiダイヤフラムを形成できるようにした。


どうやって作ってるんだろう。すげー、気になる。
薄く残したSi部分という言い方からDRIEじゃなさそうだし、KOHを使うとしたら0.2mm角では小さすぎるし……
だめだ、降参。論文発表に期待しよう。

あと、もうすぐ1000Hit。来ていただいたみなさんありがとう。
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名前 : ヒデト(山下秀人)
ウェアラブル"幸せ"センサ開発を目指す技術者
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